3月15日，江蘇三責新材料科技股份有限公司南通二期高精度高純度半導體設備用碳化硅部件項目在南通開發區開工。這是繼鋰電池、光伏用碳化硅部件后，三責新材在半導體領域邁出的重要一步。該項目預計2026年投產，屆時公司整體銷售額將突破10億元。以CORESIC? SP碳化硅材料制作的碳化硅ICP、PVD、RTA載盤、橫梁和導軌等，熱導率達160W/m·K以上，表面粗糙度優于10nm，具有優異的抗等離子刻蝕能力；以 CORESIC? SP 碳化硅材料為基礎，結合三責特有的擴散焊接技術，精密制造的各類碳化硅吸盤，解決了關鍵半導體機臺的零部件供應危機。

碳化硅陶瓷作為一種重要的結構陶瓷材料，憑借優異的高溫力學強度、高硬度、高彈性模量、高耐磨性、高導熱性、耐腐蝕性等性能，廣泛應用于精細化工和制藥、航空航天、石油化工、電池材料、光伏和半導體等領域。例如在光伏電池片生產領域，碳化硅陶瓷具有更高的熱承載力，可經受1200攝氏度高溫，耐氫氟酸腐蝕，替代石英材料作承載硅片的晶舟和舟托部件，使用時間由5個月延長至兩年以上，綜合性價比提高30%，節能10%以上。

三責新材長期致力于高性能碳化硅陶瓷研發、生產、銷售和工程應用，產品廣泛應用于精細化工和制藥、航空航天、石油化工、新能源材料、電子玻璃、微電子和半導體、光伏、光學、高溫工業窯爐等領域。

碳化硅懸臂槳是目前廣泛應用到光伏TOPCon工藝的高溫熱處理核心部件，取代了已有的石英材料，使用壽命更高，通常是石英的四倍，因此整個能量會大幅度降低，是行業中非常重要的突破。TOPCon是光伏晶硅電池的一種新型工藝，有高轉換效率、高量產性價比等明顯優勢，碳化硅陶瓷在其生產線的創新運用便是技術進步和產業升級的"幕后推手"，發展面向新能源方向潛力巨大，市場看好。

來源：三責新材、南通日報

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