荷蘭半導(dǎo)體公司阿斯麥爾(ASML)周一表示，其位于德國柏林市的一家工廠發(fā)生火災(zāi)，沒有人員受傷，目前要評(píng)估對(duì)營運(yùn)的影響還太早。其位于柏林市東部的工廠遭遇火災(zāi)，廠房部分區(qū)域受損，自動(dòng)清洗設(shè)備噴灑了約200平方公尺的廠房。據(jù)柏林市消防單位指稱，一個(gè)自動(dòng)火警系統(tǒng)觸發(fā)了警報(bào)，消防隊(duì)到達(dá)時(shí)，該棟建筑物已經(jīng)清理完畢，約有80名工作人員參與滅火工作。消防部門說，生產(chǎn)設(shè)備目前不可用，火災(zāi)原因和損失程度仍不清楚。該柏林工廠名為Berliner Glas，為阿斯麥爾的光刻機(jī)系統(tǒng)的零件制造和供應(yīng)工廠。光刻機(jī)(微影機(jī))是用來制造IC芯片的大型機(jī)器。Berliner Glas是光學(xué)、機(jī)械及電子系統(tǒng)解決方案的開發(fā)商，生產(chǎn)的零組件包括晶圓固定工作臺(tái)、光罩吸盤、反射鏡。阿斯麥爾在聲明中表示，該事件是否會(huì)對(duì)今年的產(chǎn)出計(jì)劃造成任何影響，在這個(gè)時(shí)間點(diǎn)上發(fā)表任何聲明都為時(shí)尚早。阿斯麥爾補(bǔ)充說，評(píng)估損失仍要幾天時(shí)間，將會(huì)盡快地公布。早前ASML CEO曾指出，疫情持續(xù)加速數(shù)字化轉(zhuǎn)型，為解決芯片缺貨問題，IDM廠、晶圓代工廠、存儲(chǔ)器廠均擴(kuò)大投資提高產(chǎn)能，且投資項(xiàng)目聚集在先進(jìn)制程產(chǎn)能，進(jìn)一步推動(dòng)邏輯IC及DRAM的EUV設(shè)備強(qiáng)勁需求。ASML今年EUV設(shè)備產(chǎn)能約達(dá)45～50臺(tái)且供不應(yīng)求，明年預(yù)期將提高至55臺(tái)，且都將用于生產(chǎn)效率提升15％的新一代NXE: 3600D曝光機(jī)，新機(jī)臺(tái)在客戶晶圓廠每小時(shí)曝光產(chǎn)量（throughput）已達(dá)160片。根據(jù)ASML召開分析師會(huì)議中資料，隨著邏輯IC制程明年跨入3納米世代，DRAM制程微縮至14納米以下，單片晶圓EUV曝光光罩層數(shù)正在快速提升，ASML預(yù)估先進(jìn)邏輯制程晶圓2021年EUV曝光層數(shù)平均已逾10層，至2023年將增加到逾20層，EUV光刻機(jī)未來幾年都會(huì)供不應(yīng)求，ASML的EUV光刻機(jī)訂單一路滿到2025年。隨著EUV光刻技術(shù)變得越來越重要，ASML的優(yōu)勢(shì)也越發(fā)明顯。不過，光刻機(jī)供貨商除阿斯麥之外，還有日本廠商尼康(Nikon)和佳能(CAJ.US)，這兩家在深紫外線(DUV，光源波長比EUV長)的光刻技術(shù)上能與ASML競爭，但ASML作為企業(yè)龍頭，在DUV光刻領(lǐng)域，也擁有62%的市場份額。但是在EUV領(lǐng)域，只有ASML一家能生產(chǎn)。有分析師表示，大火可能會(huì)限制ASML產(chǎn)量(至少在短期內(nèi))，從而阻礙計(jì)劃中的晶圓代工生產(chǎn)。掃碼加入半導(dǎo)體加工交流群原文始發(fā)于微信公眾號(hào)（滿天芯）：突發(fā)！ASML德國工廠起火，損失程度仍不清楚 文章導(dǎo)航日本德山與SKGC成立合資企業(yè)，生產(chǎn)和銷售半導(dǎo)體用高純度異丙醇（IPA） 賽微電子擬51億元投建月產(chǎn)能2萬片12吋MEMS制造線項(xiàng)目
